[发明专利]清洗方法在审
| 申请号： | 201980049478.4 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN112470079A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 山田晃平 | 申请（专利权）人： | 花王株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;C11D7/06;C11D7/10;C11D7/26;C11D7/50;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王永红 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明在一个方式中提供一种树脂掩膜去除性优异的清洗方法。本发明在一个方式中涉及一种清洗方法，其包括使用清洗剂组合物将树脂掩膜从附着有树脂掩膜的被清洗物剥离的工序，上述清洗剂组合物含有碱剂(成分A)、有机溶剂(成分B)及水(成分C)，成分B的汉森溶解度参数的坐标为以δd＝18.3、δp＝6.8、δh＝3.7为中心的半径5.45MPa |
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| 搜索关键词： | 清洗 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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