[发明专利]具有经改善的顶部电极连接件的BAW谐振器在审
| 申请号： | 201980050559.6 | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN112514251A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | M·希克;W·艾格纳 | 申请（专利权）人： | RF360欧洲有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | BAW谐振器包括底部电极、压电层和顶部电极。顶部电极连接件被布置在顶部电极上方的平面中。为此，间隔件被布置在顶部电极上。覆盖层位于远离顶部电极的间隔件上，使得到顶部电极的空气填充的间隙被保持。现在，顶部电极连接件可以被布置在覆盖层上方。导电路径连接顶部电极和顶部电极连接件。这种谐振器只需要一个横向设计，并且可以提供例如在滤波器电路中的谐振器的低欧姆互连件。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改善 顶部 电极 连接 baw 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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