[发明专利]铝化合物和使用该铝化合物形成含铝膜的方法在审
| 申请号： | 201980051152.5 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN112513053A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 韩元锡;马东焕;安晟祐;金大荣;高元勇 | 申请（专利权）人： | UP化学株式会社 |
| 主分类号： | C07F5/06 | 分类号： | C07F5/06;C23C16/455;C23C16/40 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 钟锦舜;王奕勋 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种新型含铝化合物、制备该含铝化合物的方法、包含含铝前体化合物的用于形成膜的前体组合物、以及使用用于形成膜的前体组合物形成含铝膜的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 化合物 使用 形成 含铝膜 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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