[发明专利]特别是用于配气机构系统的部件以及生产这种部件的方法

摘要

本发明涉及一种部件(100)，特别是用于配气机构系统的部件，该部件包括衬底(3)和至少部分地施加到衬底(3)上的层系统(1)，其中层系统(1)包括用于形成部件表面的减少摩擦和减少磨损的保护层(2)，其中保护层(2)具有由掺杂的四面体非晶碳制成的至少一个第一子层(4，4a)，该掺杂的四面体非晶碳包含摩尔分数为至少50％的sp3杂化碳，其中第一子层(4，4a)包含浓度为0.1原子％～3.0原子％的氧和浓度为0.1原子％～15原子％的氢，并且其中第一子层(4，4a)具有浓度为0.03原子％～15原子％的以下掺杂物中的一种或多种掺杂物：铬、钼、钨、硅、铜、铌、锆、钒、镍、铁、银、铪、氟、硼、以及氮。本发明还涉及生产这种部件(100)的方法。