[发明专利]通过化学气相渗透使多孔环形衬底致密化的方法

摘要

本发明涉及一种通过化学气相渗透使多孔环形衬底(18)致密化的方法，所述方法至少包括以下步骤：提供多个单一模块(10)，其包括支撑板(14)，在所述支撑板(14)上形成有衬底的叠堆，所述支撑板具有与由堆叠衬底的中心通道(18a)形成的内部体积(17)连通的中心进气开口(14a)和环绕该中心开口成角度地分布的排气开口(14b)，以及形成热质量的圆筒(16)，所述圆筒环绕衬底的叠堆设置并且具有固定到支撑板的第一端部(16a)，以及第二自由端(16b)；在致密化炉的腔室(34)中形成单一模块的叠堆，以及将气相喷射到单一模块的所述的叠堆内，所述气相包括一种将被沉积在衬底的孔隙内的基体材料的气体前体。