[发明专利]用于向离子源递送馈入气体的系统

摘要

本发明公开一种用于减少馈入气体在进入离子源腔室的气体管上的堵塞及沉积的系统，特别是公开一种用于向离子源递送馈入气体的系统。为降低气体管的整体温度，在离子源腔室与气体管之间设置由隔热材料制成的气体衬套。气体衬套由例如钛、石英、氮化硼、氧化锆或陶瓷等隔热材料制成。气体衬套具有与离子源腔室及气体管进行流体连通的内通道，以容许馈入气体流向离子源腔室。气体衬套可具有对称的形状，从而容许其被翻转以延长其使用寿命。在一些实施例中，气体管可与散热器连通以保持气体管的温度。