[发明专利]对径向蚀刻均匀度的主动控制在审
| 申请号： | 201980052920.9 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN112543989A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 阿列克谢·马拉赫塔诺夫;菲力克斯·莱布·科扎克维奇;约翰·霍兰德;季兵;肯尼思·卢凯西 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 描述了主动控制径向蚀刻均匀度的系统和方法。所述方法包含产生具有基频的射频(RF)信号以及产生具有谐波频率的另一RF信号。控制该另一RF信号的谐波频率、或相位、或参数水平、或其组合以控制等离子体室内的RF等离子体鞘的谐波，从而实现径向蚀刻均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 径向 蚀刻 均匀 主动 控制 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司，未经朗姆研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980052920.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：应变波齿轮系统及其传动元件、机械臂和测量扭矩的方法
- 下一篇：弹性辊
