[发明专利]用于III-V/硅混合集成的方法在审
| 申请号： | 201980052933.6 | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN112771426A | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 余国民;A·J·齐尔基 | 申请（专利权）人： | 洛克利光子有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/13;H01L21/683;H01L23/544;H01L33/00;H01S5/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;吕传奇 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种转移印刷的方法。所述方法包括：提供前驱体光子器件，所述前驱体光子器件包括基板和粘结区域，其中所述前驱体光子器件包括位于所述粘结区域中或邻近所述粘结区域的一个或多个对准标记；提供转移裸片，所述转移裸片包括一个或多个对准标记；将所述前驱体光子器件的所述一个或多个对准标记与所述转移裸片的所述一个或多个对准标记对准；以及将所述转移裸片的至少一部分粘结到所述粘结区域。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 iii 混合 集成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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