[发明专利]溅射靶、磁性膜以及垂直磁记录介质有效
申请号: | 201980054069.3 | 申请日: | 2019-05-23 |
公开(公告)号: | CN112585295B | 公开(公告)日: | 2023-04-04 |
发明(设计)人: | 增田爱美;清水正义;岩渊靖幸 | 申请(专利权)人: | JX金属株式会社 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;G11B5/64;G11B5/851;H01F10/16;C22C1/04;C22C19/07;C22C32/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 吕琳;朴秀玉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明是一种溅射靶,其含有0.05at%以上的Bi,金属氧化物的合计含量为10vol%~60vol%,剩余部分包含Co和Pt。 | ||
搜索关键词: | 溅射 磁性 以及 垂直 记录 介质 | ||
【主权项】:
暂无信息
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