[发明专利]氧化铜固体物质、氧化铜固体物质的制造方法和镀覆液供给装置有效
| 申请号： | 201980054296.6 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN112585303B | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 山川纯逸;窦春晖;木村梨沙;横山俊夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D21/14 | 分类号： | C25D21/14;B22F1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 金世煜;李书慧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种使用有不溶性阳极的基板的镀覆中使用的氧化铜固体物质。进而，本发明涉及一种制造该氧化铜固体物质的方法。进而，本发明涉及一种用于将溶解有氧化铜固体物质的镀覆液供给至镀覆槽的装置。供给至基板(W)的镀覆用镀覆液的氧化铜固体物质(CS)包含氧化铜粉体和作为将氧化铜粉体固体化的粘合剂的液体。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化铜 固体 物质 制造 方法 镀覆 供给 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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