[发明专利]集成有加热器的传感器在审
| 申请号： | 201980054397.3 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112996745A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 严沛文;刘廷渊;任颉;林宗贤;约瑟·西格;卡林·麦克劳斯 | 申请（专利权）人： | 应美盛股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 孟潭 |
| 地址： | 美国加利福尼亚州圣何*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种具有微机电系统(MEMS)传感器管芯的装置包括可变形膜、MEMS加热元件和衬底。所述MEMS加热元件和所述可变形膜集成于同一层且同一平面内。所述MEMS加热元件环绕所述可变形膜，且通过沟槽与所述可变形膜分离。所述MEMS加热元件用于产生热量，以加热所述可变形膜。所述衬底耦合于所述可变形膜上。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 加热器 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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