[发明专利]臭氧水输送系统及其使用方法在审
| 申请号： | 201980054540.9 | 申请日： | 2019-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112601720A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 海恩利希·赛威特;克里斯提恩·勒提克;乌尔利希·布拉莫 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | C02F1/78 | 分类号： | C02F1/78 |
| 代理公司： | 北京寰华知识产权代理有限公司 11408 | 代理人： | 何尤玉;郭仁建 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种臭氧水输送系统，所述臭氧水输送系统包含：至少一个接触装置，所述至少一个接触装置与被配置成提供超纯水的至少一个超纯水源连通；至少一个超纯水导管，所述至少一个超纯水导管耦接到所述超纯水源；至少一种溶液，所述至少一种溶液通过所述超纯水导管与所述接触装置和所述超纯水源连通；一个或多个气体源，所述一个或多个气体源含有至少一种气体、与所述超纯水源、所述超纯水导管和溶液导管中的至少一个连通；至少一个混合气体导管，所述至少一个混合气体导管与所述气体源和所述接触装置连通并且被配置成向所述接触装置提供至少一种混合气体；以及至少一个臭氧水输出导管，所述至少一个臭氧水输出管可以与所述接触装置连通。 | ||
| 搜索关键词： | 臭氧 输送 系统 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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