[发明专利]用于柔性覆盖透镜的多层湿法-干法硬涂层在审
申请号: | 201980055267.1 | 申请日: | 2019-07-02 |
公开(公告)号: | CN112601835A | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
发明(设计)人: | 曼尼瓦南·托塔德里;尤哈维;尼尔·莫里森;丹尼尔·保罗·福斯特 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | C23C16/02 | 分类号: | C23C16/02;C23C16/30;C23C16/54;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/56;B05D5/08;B05D5/06;C09D5/00;G06F3/044 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本文描述的实现方式一般涉及柔性显示装置,并且更具体地涉及柔性覆盖透镜膜。柔性覆盖透镜膜具有改善的强度、弹性、光透射率和耐磨性质,并且含有设置在基板层上的多层硬涂层。基板层具有2μm至100μm的厚度并且多层硬涂层具有1μm至30μm的厚度。多层硬涂层含有使用湿法沉积工艺沉积的第一层、使用干法沉积工艺沉积的第二层和一个或多个粘合促进层。对于光学性质来说,多层硬涂层具有大于88%的总透射率、约1%或更小的雾度和b*l的黄度指数。通过组合湿法和干法沉积工艺以形成多层硬涂层,覆盖透镜膜既是柔性的又是坚固的,其中硬度在4H与9H之间。 | ||
搜索关键词: | 用于 柔性 覆盖 透镜 多层 湿法 干法硬 涂层 | ||
【主权项】:
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的