[发明专利]低温泵及低温板有效
申请号: | 201980055451.6 | 申请日: | 2019-08-01 |
公开(公告)号: | CN112601888B | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | 高桥走 | 申请(专利权)人: | 住友重机械工业株式会社 |
主分类号: | F04B37/08 | 分类号: | F04B37/08 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的低温泵(10)具备第2级低温板总成(20),该第2级低温板总成(20)具备:被排出气体通过进气口(12)后沿直线路径能够到达的曝露区域(68)、及被排出气体通过进气口(12)后沿直线路径无法到达的非曝露区域(69)。非曝露区域(69)具有能够吸附非冷凝性气体的吸附区域(66),曝露区域(68)被可拆卸的保护面(76)所覆盖。可拆卸的保护面(76)可以由可剥离地粘贴于曝露区域(68)的由树脂或金属制成的保护层来提供。 | ||
搜索关键词: | 低温泵 低温 | ||
【主权项】:
暂无信息
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