[发明专利]紧凑型对准传感器布置在审
| 申请号： | 201980056601.5 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN112639624A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | T·M·T·A·M·埃拉扎里;J·L·克勒泽;F·G·C·比基恩;K·肖梅 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司;ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G02B6/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于确定衬底的对准的设备和系统，其中，利用空间相干辐射照射周期性对准标记，然后将所述空间相干辐射照射提供给紧凑集成光学器件以创建对准标记的自身图像，该图像可以被操纵(例如进行镜像、偏振)和合并以获取与标记位置和标记内变形有关的信息。还公开了一种用于确定衬底的对准的系统，其中，利用空间相干辐射照射周期性对准标记，然后将所述空间相干辐射照射提供给光纤布置以获得诸如标记的位置和标记内的变形之类的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 紧凑型 对准 传感器 布置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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