[发明专利]感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件在审
| 申请号： | 201980057053.8 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN112639616A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 岩井悠;吉田健太;福原敏明 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C08F290/00;C08G73/10;C08G73/22;G03F7/037;G03F7/038 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种发挥优异的环化率且保存稳定性也优异的感光性树脂组合物。并且，提供一种利用了上述感光性树脂组合物的固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件。感光性树脂组合物含有特定的热产碱剂和含杂环聚合物的前体，特定的热产碱剂具有羟基与酰胺结构(‑C(＝O)‑N＝)通过烃基L而连接的结构，L在L中的连接链的路径上具有饱和烃基，且连接链的路径上的原子数为3以上。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 固化 层叠 制造 方法 半导体器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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