[发明专利]正型光敏材料在审
| 申请号： | 201980057768.3 | 申请日： | 2019-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN112654928A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 刘卫宏;卢炳宏;陈春伟 | 申请（专利权）人： | 默克专利股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004;C07C69/84 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 姜煌 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光敏组合物，其包含a)至少一种光致产酸剂；b)至少一种酚醛清漆聚合物；c)至少一种丙烯酸酯聚合物,其包含具有结构(I)的组分；d)至少一种缩水甘油基羟基苯甲酸缩合物材料,其包含一种或多种具有结构(I I)的化合物；e)至少一种杂环硫醇化合物,其包含选自通用结构(I I I)、(I I Ia)或(I I Ib)的环结构；及f)至少一种溶剂。本文中还公开了使用此组合物以形成抗蚀剂图案的方法及使用这些抗蚀剂图案以产生金属线的方法。本文还公开了具有结构(I I)的化合物及化合物的混合物。 | ||
| 搜索关键词： | 光敏 材料 | ||
【主权项】：
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