[发明专利]热丝化学气相沉积装置在审
| 申请号： | 201980057869.0 | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN112654731A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 高桥哲也;广田悟史;R·克莱默 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/458 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美红;张一舟 |
| 地址： | 日本兵库*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够将多个基材容易地配置在腔室内的热丝化学气相沉积装置。热丝化学气相沉积装置(1)具有腔室(2)、多个丝、分别支撑多个基材(5)的多个基材支撑体(4)以及载物台(31)。多个基材支撑体(4)能够通过开口部(2H)沿指定的插入方向插入于腔室(2)的内部，并以使多个基材(5)沿所述插入方向隔开间隔被配置的方式分别支撑多个基材(5)。载物台(31)具有以使多个基材(5)与多个丝相向被配置的方式容许多个基材支撑体(4)被载置的载置面，在腔室(2)的内部以使多个基材支撑体(4)在腔室宽度方向上邻接被配置的方式支撑多个基材支撑体(4)。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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