[发明专利]针对在衬底处理系统的气体输送系统中的硬件部件的软件仿真器在审
| 申请号： | 201980057883.0 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN112654994A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 波斯简·普斯特;汤姆·特林;黄中和 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;G06F11/34;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于衬底处理系统的气体输送系统的软件仿真系统包含：输入/输出总线和仿真器总线。输入/输出总线适配器包含交换器，所述交换器被配置成从所述衬底处理系统的系统控制器发送数据包至所述输入/输出总线和所述仿真器总线中的一者。与所述仿真器总线通信的气体输送系统仿真器被配置成：经由所述仿真器总线从所述输入/输出总线适配器接收所述数据包；以及执行所述气体输送系统的互连的多个硬件部件的基于软件的仿真。所述多个硬件部件使用一或更多个软件模型进行模型化，并且包含阀与质量流量控制器中的至少一者以及气源。 | ||
| 搜索关键词： | 针对 衬底 处理 系统 气体 输送 中的 硬件 部件 软件 仿真器 | ||
【主权项】：
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