[发明专利]热丝化学气相沉积装置有效
| 申请号： | 201980057931.6 | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN112601838B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 高桥哲也;广田悟史;R·克莱默 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;王玮 |
| 地址： | 日本兵库*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够一边稳定地矫正伴随热膨胀的丝的弯曲，一边进行对基材的包覆处理的热丝化学气相沉积装置。热丝化学气相沉积装置（1）具有腔室（2）、支撑多个基材（5）的基材支撑体（4）、多个丝（60）、第一框部（61）及第二框部（62）、电源（81）、驱动部（82）、驱动控制部（802）、运算部（803）以及温度信息获取部（807）。温度信息获取部（807）获取伴随施加电压而变化的多个丝（60）的温度信息。运算部（803）基于所获取的温度信息运算多个丝（60）的热膨胀量。驱动控制部（802）根据运算部（803）运算出的热膨胀量使第二框部（62）从第一框部（61）离开。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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