[发明专利]Mn-Nb-W-Cu-O系溅射靶及其制备方法在审
| 申请号： | 201980058203.7 | 申请日： | 2019-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN112601834A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 加守雄一 | 申请（专利权）人： | 迪睿合株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C04B35/495 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 童春媛;杨戬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供溅射靶及其制备方法，所述溅射靶是在成分组成中含有Mn、Nb、W、Cu和O的Mn‑Nb‑W‑Cu‑O系溅射靶，相对密度为90%以上，并且含有MnNb |
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| 搜索关键词： | mn nb cu 溅射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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