[发明专利]抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法在审
| 申请号： | 201980058919.7 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN112654926A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 中村刚;铃木阳介;李俊烨 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 陈亦欧;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种抗蚀剂组合物，含有基材成分(A)、产酸剂成分(B)、及混合了由下述式(s1)表示的有机溶剂(S1)的混合溶剂(S)，所述产酸剂成分(B)含有由下述式(b1)表示的化合物(B1)。式中，R |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 以及 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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