[发明专利]封装用盖部件的制造方法及封装体的制造方法有效
申请号: | 201980059185.4 | 申请日: | 2019-10-24 |
公开(公告)号: | CN112673467B | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 大道悟;宇野浩规 | 申请(专利权)人: | 三菱综合材料株式会社 |
主分类号: | H01L23/02 | 分类号: | H01L23/02;H01L33/48 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 刁兴利;康泉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的封装用盖部件的制造方法包括:金属化工序,在玻璃部件(30)的表面形成金属化层(4);膏涂布工序,在所述金属化层(4)上以框状涂布Au‑Sn膏;回流焊工序,在膏涂布工序之后,加热涂布有Au‑Sn膏的所述玻璃部件(30)来使Au‑Sn膏进行回流焊;及冷却工序,冷却回流焊工序之后的玻璃部件(30)来形成Au‑Sn层(5)。冷却工序包括保持工序,所述保持工序为在150℃以上且190℃以下的温度范围内将玻璃部件(30)保持2分钟以上。 | ||
搜索关键词: | 封装 部件 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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