[发明专利]在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法及装置在审
申请号: | 201980059619.0 | 申请日: | 2019-07-11 |
公开(公告)号: | CN112672810A | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 白光铉;周元泰;张润相 | 申请(专利权)人: | 普拉斯尼克斯 |
主分类号: | B01D53/32 | 分类号: | B01D53/32;H01J37/32 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 吕琳;田英爱 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法和实现其的装置,包括如下步骤:在进行目标气体的转化的转化区域生成等离子体;第一电离能作为低于10eV的元素,将含有促进目标气体的转化的转化促进元素的转化促进剂供应至转化区域;与目标气体的解离产物结合而抑制再结合为目标气体,并将转化为转化产物的转化剂供应至转化区域;将含有目标气体的排放气体供应至转化区域。在通过本发明而处理含有目标气体的排放气体时,提高目标气体的转化率,并在处理过程中减少所需的能源的消耗量。 | ||
搜索关键词: | 等离子体 相处 含有 目标 气体 排放 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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