[发明专利]用于位置量测的量测传感器在审
| 申请号： | 201980061820.2 | 申请日： | 2019-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112740109A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩;S·R·胡伊斯曼;S·G·J·马西森;H·P·M·派勒曼斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/48;G02B21/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 披露了一种被配置为产生包括多个照射束的测量照射的量测装置(1600)，这些照射束中的每一个照射束是空间不相干的或伪空间不相干的并且在量测装置的照射光瞳中包括多个光瞳点。多个照射束中的每一个照射束中的每一个光瞳点在多个照射束中的其他照射束中的至少一个照射束中具有对应的光瞳点，由此限定多个对应的光瞳点集合，并且对应的光瞳点集合中的光瞳点相对于彼此是空间相干的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 位置 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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