[发明专利]解析装置、解析方法及解析程序在审
| 申请号： | 201980062850.5 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN112752978A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 酒井裕二;杉村一 | 申请（专利权）人： | 爱德万测试株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66;G06N20/00 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀锋 |
| 地址： | 日本东京千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 为了解析对受测器件进行测量而得的复数个测量值，并有效地利用解析得到的信息，提供一种解析装置，其具备：取得部，其取得复数个测量值，所述复数个测量值是经由治具对受测器件进行测量而得的；解析部，其解析复数个测量值并算出变动数据，所述变动数据表示与治具接触受测器件的接触次数对应的测量值的变动；以及，管理部，其基于变动数据来管理治具的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 解析 装置 方法 程序 | ||
【主权项】：
暂无信息
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