[发明专利]从图案化过程的图案集合确定候选图案的方法在审
| 申请号： | 201980062893.3 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN112740110A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | V·维拉恩基;M·C·西蒙 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文中所描述的是一种从图案化过程的图案集合确定候选图案的方法，所述方法包括：获得(i)图案化过程的图案集合、(ii)具有第一特征和第二特征的搜索图案、和(iii)包括介于所述搜索图案的所述第一特征与所述第二特征之间的相对位置的第一搜索条件；和从所述图案集合确定满足与所述搜索图案的所述第一特征和所述第二特征相关联的所述第一搜索条件的候选图案的第一集合。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 过程 集合 确定 候选 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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