[发明专利]泵

摘要

泵具备：振动板(7)，其在第1主面连接有压电体；罩(10)，其具有顶板(31)和侧壁(11)，上述顶板(31)同振动板的与第1主面相反侧的第2主面对置，并具有开口部，上述侧壁(11)包围顶板与振动板之间的空间并与顶板的外周部连接；支承部(9)，其与侧壁连接，并支承振动板的外周；开口(17)，其形成于侧壁与振动板之间；以及突起(19)，其在顶板、侧壁和振动板中任一者上设置为向空间内突出，在从与顶板的主面和振动板的第2主面相对置的朝向正交的方向剖视时，突起设置于顶板的开口部与侧壁之间。