[发明专利]传感器元件以及角速度传感器在审
| 申请号： | 201980063069.X | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112752949A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 副岛宗高;高浪俊 | 申请（专利权）人： | 京瓷株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5607 | 分类号： | G01C19/5607;H01L41/113 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王晖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在传感器元件中，框架以x轴方向为长度方向。两个驱动臂从框架向y轴方向互相并列地延伸。检测臂在x轴方向上成为两个驱动臂的中央的位置处从框架向y轴方向延伸。多个激振用布线部在两个驱动臂在x轴方向上以相反的相位振动的连接关系下，连接多个激振电极以及端子。第1布线部与第1检测电极和第1检测用端子连接。第2布线部与第2检测电极和第2检测用端子连接。第1布线部的至少一部分和第2布线部的至少一部分在框架上沿框架的长度方向遍及框架的长度的1/4以上的长度而并列地延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 元件 以及 角速度 | ||
【主权项】：
暂无信息
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