[发明专利]从成角度的气体流辅助的等离子体的轴对称材料沉积

摘要

一种膜沉积系统，其包括：腔室；设置在所述腔室中的平台，所述平台被配置为支撑基板；一个或多个气体入口结构，所述一个或多个气体入口结构被配置为将一种或多种气体供应到所述腔室的内部；以及一个或多个微波引入窗口，所述一个或多个微波引入窗口将微波辐射引入至所述腔室以激发一种或多种源气体以在所述平台附近产生等离子体。所述气体入口结构包括一个或多个成角度的气体入口，所述一个或多个成角度的气体入口以相对于所述平台的对称轴线成一角度将等离子体成形气体流引入至所述腔室。所述等离子体成形气体流与所述等离子体相互作用，以便有利于利用所述等离子体使材料轴对称沉积在所述基板的表面上。