[发明专利]MEMS气体传感器及MEMS气体传感器的制造方法在审
| 申请号： | 201980066186.1 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN112805557A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 木村哲平;铃木弘明;寺泽和雄 | 申请（专利权）人： | NISSHA株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 田喜庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 延长MEMS气体传感器的寿命。MEMS气体传感器(1)具备：绝缘体(3)、气敏材料(33)、第一氧化膜(6)和层间绝缘膜(13)、加热器布线图案(23)、以及下侧保护膜(11)和上侧保护膜(20)。绝缘体具有腔体(3c)。气敏材料(33)与腔体(3c)对应地设置。第一氧化膜(6)和层间绝缘膜(13)设置于绝缘体(3)，并配置成在俯视观察下彼此重叠。加热器布线图案(23)用于加热气敏材料(33)，并配置在第一氧化膜(6)与层间绝缘层(13)之间。下侧保护膜(11)和上侧保护膜(20)紧贴并覆盖加热器布线图案(23)的上表面(23c)、下表面(23d)及侧面(23e)。 | ||
| 搜索关键词： | mems 气体 传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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