[发明专利]具有可调高尺寸稳定性的柔性印模在审
| 申请号： | 201980066409.4 | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN113168089A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | J·M·特尔默伦;B·J·蒂图莱尔;L·W·威尔德森;A·范埃尔文 | 申请（专利权）人： | 莫福托尼克斯控股有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 唐秀玲;林柏楠 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种柔性印模，包括至少三层，具有浮凸区域(203B)的作为纹理层(203)的上层、增强层(202)和保护层(201)，其特征在于，增强层(202)具有10ppm/℃或更低的热膨胀系数，10GPa‑200GPa的杨氏模量，300μm以下的层厚度，以及至少覆盖浮凸区域(203B)的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 可调 尺寸 稳定性 柔性 印模 | ||
【主权项】：
暂无信息
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