[发明专利]用于支撑和输送基板的系统和方法在审
| 申请号： | 201980066654.5 | 申请日： | 2019-10-04 |
| 公开（公告）号： | CN112888572A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 迪格佰·潘;科马克麦金利·威克洛 | 申请（专利权）人： | 科迪华公司 |
| 主分类号： | B41J29/06 | 分类号： | B41J29/06;B41J2/135;B65G51/03;H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京坦路来专利代理有限公司 11652 | 代理人： | 索翌 |
| 地址： | 美国加利福*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种系统可以包括：用于支撑基板的支撑表面；多个第一通道，其布置成分配第一气体的流动，以建立使基板浮动在支撑表面上方的气体承载；以及多个第二通道，其布置成分配第二气体的流动，以沿着支撑表面传送基板。一种方法可以包括：通过气体承载使基板浮动在基板支撑装置的支撑表面上方，在使基板浮起的同时，通过使气体向基板的表面且相对于基板的表面以非垂直的方向流动，从而沿着支撑表面输送基板。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 支撑 输送 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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