[发明专利]用于替换坩埚的蒸发沉积系统在审
| 申请号： | 201980068082.4 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112867808A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 金英年 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本文披露了一种用于替换坩埚的蒸发沉积系统，所述蒸发沉积系统包括：真空腔室，所述真空腔室被配置为容纳基板；蒸发源，所述蒸发源被配置为供应气相沉积材料至基板；多个移动腔室，每个移动腔室被配置为沿着轨道移动并且容纳蒸发源；和连接腔室，所述连接腔室被配置为连接移动腔室和真空腔室，其中每个移动腔室的前表面具有第一开口和第一开关阀，气相沉积材料通过所述第一开口移动至连接腔室中，并且第一开关阀打开和关闭第一开口。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 替换 坩埚 蒸发 沉积 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980068082.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
