[发明专利]使用脉冲式DC偏压时的自动ESC偏压补偿在审
| 申请号： | 201980068179.5 | 申请日： | 2019-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112868083A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | J·罗杰斯;L·崔;L·多尔夫 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L21/683;H01L21/02;C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例总体上涉及一种在半导体制造中使用的系统。更具体地，本公开的实施例涉及一种用于脉冲式DC偏压和箝位基板的系统。在一个实施例中，系统包括等离子体腔室，所述等离子体腔室具有ESC以用于支撑基板。电极嵌入在ESC中并电耦合至偏压与箝位电路。偏压与箝位电路至少包括整形DC脉冲电压源和箝位网络。箝位网络包括DC电压源和二极管，以及电阻器。整形DC脉冲电压源与箝位网络并联连接。当用脉冲式DC电压偏压基板时，偏压与箝位网络自动维持基本上恒定的箝位电压，所述箝位电压是跨电极与基板的压降，从而导致改良了基板的箝位。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 脉冲 dc 偏压 自动 esc 补偿 | ||
【主权项】：
暂无信息
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