[发明专利]透射型扩散器在审
| 申请号： | 201980068441.6 | 申请日： | 2019-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN112867969A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | M·A·范德克尔克霍夫;A·尼基帕罗夫;彼得-詹·范兹沃勒;L·C·德温特;W·J·恩格伦;A·O·波利亚科夫 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B5/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 被配置成接收并传输辐射的第一扩散器包括多个层，每个层被布置成通过不同方式改变穿过该层的EUV辐射的角分布。被配置成接收并传输辐射的第二扩散器包括：第一层和第二层。所述第一层由第一材料形成，所述第一层包括位于所述第一层的至少一个表面上的纳米结构。所述第二层由邻近于所述第一层的所述至少一个表面的第二材料形成，使得所述第二层也包括纳米结构。所述第二材料具有与所述第一层的折射率不同的折射率。所述第一扩散器和第二扩散器可以被配置成接收并传输EUV辐射。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 扩散器 | ||
【主权项】：
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