[发明专利]微镜器件及微镜器件的驱动方法有效

专利信息
申请号: 201980069459.8 申请日: 2019-10-07
公开(公告)号: CN112912784B 公开(公告)日: 2022-11-11
发明(设计)人: 直野崇幸 申请(专利权)人: 富士胶片株式会社
主分类号: G02B26/10 分类号: G02B26/10;B81B3/00;G02B26/08
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 韩香花;崔成哲
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的基于压电驱动方式的微镜器件以低电力化为目的,微镜器件具备:反射镜部(12);环状的第1致动器(14);环状的第2致动器(16);第1连接部(21),在第1轴上连接反射镜部(12)和第1致动器(14),并且将反射镜部(12)支承为能够绕第1轴转动;第2连接部(22),在与第1轴正交的第2轴上连接第1致动器(14)和第2致动器(16),并且将第1致动器(14)支承为能够绕第2轴转动;第3连接部(23),在第2轴上连接于第2致动器(16)的外周;及固定部(20),连接有第3连接部(23),并经由第3连接部(23)支承第2致动器(16)。
搜索关键词: 器件 驱动 方法
【主权项】:
暂无信息
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