[发明专利]微镜器件及微镜器件的驱动方法有效
申请号: | 201980069459.8 | 申请日: | 2019-10-07 |
公开(公告)号: | CN112912784B | 公开(公告)日: | 2022-11-11 |
发明(设计)人: | 直野崇幸 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10;B81B3/00;G02B26/08 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 韩香花;崔成哲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的基于压电驱动方式的微镜器件以低电力化为目的,微镜器件具备:反射镜部(12);环状的第1致动器(14);环状的第2致动器(16);第1连接部(21),在第1轴上连接反射镜部(12)和第1致动器(14),并且将反射镜部(12)支承为能够绕第1轴转动;第2连接部(22),在与第1轴正交的第2轴上连接第1致动器(14)和第2致动器(16),并且将第1致动器(14)支承为能够绕第2轴转动;第3连接部(23),在第2轴上连接于第2致动器(16)的外周;及固定部(20),连接有第3连接部(23),并经由第3连接部(23)支承第2致动器(16)。 | ||
搜索关键词: | 器件 驱动 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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