[发明专利]干涉仪元件、光谱仪和用于运行干涉仪的方法在审
| 申请号： | 201980069520.9 | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN112840186A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | R·诺特迈耶;B·斯坦;C·胡贝尔;C·谢林;C·D·克莱默;R·罗德尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/26;G01J3/30;G01J3/453 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 赵伯俊;司昆明 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于在光谱仪（100）中使用的干涉仪元件（125），其中，所述干涉仪元件（125）具有微机械式法布里‑珀罗滤波元件（FPI1、FPI2），所述法布里‑珀罗滤波元件至少具有第一镜元件（135）、第二镜元件（140）和第三镜元件（145），所述第一镜元件、所述第二镜元件和所述第三镜元件串联地布置在所述干涉仪元件（125）的光路（120）中，并且其中，所述第一镜元件（135）与所述第二镜元件（140）之间的第一间距（160）和/或所述第二镜元件（140）与所述第三镜元件（145）之间的第二间距（165）能够被改变。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 元件 光谱仪 用于 运行 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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