[发明专利]目标材料供应设备和方法在审
| 申请号： | 201980070415.7 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN112913333A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | J·D·特德罗 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于供应目标材料的设备，包括储蓄器系统、注入系统以及从注入系统延伸至储蓄器系统的输送系统。储蓄器系统包括与喷嘴供应系统流体连通的储蓄器。注入系统包括限定初级腔的注入室；以及可移除载体，该可移除载体被配置为被容纳在初级腔中。可移除载体限定了次级腔，次级腔被配置为容纳包括目标材料的固体物质。输送系统被配置为提供在注入系统和储蓄器系统之间的流体流动路径。 | ||
| 搜索关键词： | 目标 材料 供应 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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