[发明专利]纳米孔流动池和制造方法在审
| 申请号： | 201980070821.3 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN112912726A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·R·约翰逊;罗杰·奎恩 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01N33/487 | 分类号： | G01N33/487;B81B1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文提供纳米孔流动池和纳米孔流动池的制造方法。在一个实施方式中，一种形成流动池的方法包括在第一基板上形成多层堆叠结构。多层堆叠结构的特征为设置在第一基板上的隔膜层和设置在隔膜层上的材料层，隔膜层具有穿过隔膜层形成的第一开口。方法进一步包括图案化第二基板的表面，以在第二基板中形成第二开口，将第二基板的图案化的表面结合至多层堆叠结构的表面，减薄第一基板，和去除减薄的第一基板和至少部分的材料层，以暴露隔膜层的相对表面。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 流动 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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