[发明专利]用于延长目标材料递送系统寿命的装置和方法在审
| 申请号： | 201980071670.3 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN113170566A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | G·O·瓦斯琴科;C·拉加古鲁;A·I·厄肖夫;J·M·卢肯斯;M·C·亚伯拉罕;B·罗林格 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种用于生成EUV辐射的系统，在系统中通过如下控制流过液滴生成器中的喷嘴的孔口320中的目标材料的电流：提供针对电流的交替的较低阻抗路径和/或通过限制施加到液滴生成器的驱动信号的高频分量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 延长 目标 材料 递送 系统 寿命 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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