[发明专利]圆筒型溅射靶的制造方法在审
| 申请号： | 201980071856.9 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112969811A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 冈野晋;大友健志 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 辛雪花;周艳玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的圆筒型溅射靶的制造方法具有：基底处理工序，将基底处理接合材料涂布于靶材的内周面和衬管的外周面中的至少任一个上来形成基底处理层；及接合工序，在基底处理工序之后，将衬管插入到靶材内，并且将填充用接合材料填充于所述靶材与衬管之间的间隙，在所述接合工序中，在靶材或衬管中的任一个或两个上沿着圆周方向设置能够配置成在间隙内沿径向突出的刮板，并且对基底处理层进行加热而使其表面成为至少半熔融状态，并利用刮板刮去形成于基底处理层的表面上的氧化膜，同时将衬管插入到靶材内。 | ||
| 搜索关键词： | 圆筒 溅射 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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