[发明专利]在硬陶瓷涂层中制造纳米脊的方法在审
| 申请号： | 201980071950.4 | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN112969966A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | M·A·阿克巴斯;T·尤特迪杰克;C·J·马松;M·利普森;D·H·彼得森;M·佩里;P·赫尔马斯;J·J·董;D·索拉比巴巴黑德利 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于在光刻工艺中使用的减少物体对表面的粘附的方法，该方法包括在控制计算机处接收用于被配置为对表面修改的工具的指令，以及基于在控制计算机处接收的指令以确定的方式形成具有沟和脊的修改表面，其中，脊通过减小修改表面的接触表面积来减少粘附。另一装置包括修改表面，修改表面包括形成减小的接触表面积以减少物体对修改表面的粘附的沟和脊，脊具有弹性性质，当多个脊弹性变形时，弹性性质导致减小的接触表面积增加。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 涂层 制造 纳米 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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