[发明专利]包含垂直晶体管的装置及电子系统与相关方法在审
| 申请号： | 201980072395.7 | 申请日： | 2019-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN113056829A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | D·V·N·拉马斯瓦米;S·E·西里斯 | 申请（专利权）人： | 美光科技公司 |
| 主分类号： | H01L29/732 | 分类号： | H01L29/732;H01L29/66;H01L29/423;H01L21/768;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 彭晓文 |
| 地址： | 美国爱*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种装置，其包括垂直定向的晶体管。所述装置包括：支柱，其包括至少一种氧化物半导体材料，所述支柱在第一横向方向上在其上部分处比在其下部分处更宽；栅极电介质材料，其在所述支柱的侧壁上方且在所述第一横向方向上延伸；及至少一个栅极电极，其邻近于所述栅极电介质材料的至少一部分。还公开相关装置、电子系统及方法。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 垂直 晶体管 装置 电子 系统 相关 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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