[发明专利]用于清洁激光切割基板的系统和方法有效
| 申请号： | 201980073290.3 | 申请日： | 2019-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN112969539B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·卡普 | 申请（专利权）人： | 海克恩系統有限公司 |
| 主分类号： | B08B15/00 | 分类号： | B08B15/00;B08B11/02;B08B11/04;B08B3/04;B23K26/00;B23K103/00 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 张焕响 |
| 地址： | 以色列亚夫内*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于清洁基板表面的系统，包括清洁元件，所述清洁元件包括弹性可压缩材料。液体来源将液体直接提供至清洁元件，以及，挤水滚筒与清洁元件相接合并对其施加压力，以将多余的液体从所述弹性可压缩材料中挤出。支撑元件相对所述清洁元件，以使基板被置于支撑元件和清洁元件之间。基板在支撑元件和清洁元件之间移动，以使吸入有适合的量的液体的清洁元件的表面接合并清洁基板的表面，而不会损坏基板。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洁 激光 切割 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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