[发明专利]用于波导计量的方法与设备在审
| 申请号： | 201980073431.1 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN112997058A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 傅晋欣;罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森;卢多维克·戈代 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01J3/28 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述的实施方式涉及用于测量和表征利用玻璃基板的增强现实和虚拟现实波导结构的性能的设备。波导性能测量系统通常包括：光源，被配置为将光导向波导上的输入耦合光栅区域；以及一个或多个光探测器，被配置为从波导的第二侧上的输出耦合光栅区域收集光。光源和一个或多个光探测器设置在围绕波导定位的一个或多个可调节工作台上。在某些实施方式中，一个或多个可调节工作台被配置为以线性方式移动或以轨道运动围绕波导绕转和/或旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 波导 计量 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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