[发明专利]高压滤波器组件在审
| 申请号： | 201980074332.5 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN112997401A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | A·K·米什拉;J·罗杰斯;L·多尔夫;R·丁德萨;O·卢艾莱 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H03H7/40 | 分类号： | H03H7/40;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述的实施例适用于在所有类型的等离子体辅助的或等离子体增强的处理腔室中使用，并且还适用于基板的等离子体辅助的或等离子体增强的处理的方法。更具体地，本公开的实施例包括宽带滤波器组件，在本文中也称为滤波器组件，宽带滤波器组件配置为减少和/或防止RF泄漏电流通过与RF驱动的部件和接地直接或间接电耦接的其他电气部件从一个或多个RF驱动的部件传送到接地、具有高输入阻抗(低电流损耗)使其能与成形DC脉冲偏压应用兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 高压 滤波器 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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