[发明专利]用于微加工超声换能器装置的抗粘滞的底部腔表面在审
| 申请号： | 201980075356.2 | 申请日： | 2019-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN113039433A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 缪凌云;基思·G·菲费;刘建伟;乔纳森·M·罗思伯格 | 申请（专利权）人： | 蝴蝶网络有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/22 | 分类号： | G01N29/22;G01N29/24;G01N29/34;H04R15/02;H04R19/01;H04R19/02;H04R19/04;H04R19/06;H04R19/08;H04R19/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 蔡胜有;苏虹 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种形成超声换能器装置的方法，所述方法包括在基板的下部换能器电极层上方形成具有形貌特征的绝缘层；在绝缘层上方形成共形的抗粘层使得共形层也具有形貌特征；在形成于抗粘层上方的支承层中限定腔；以及将膜结合至支承层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加工 超声 换能器 装置 抗粘滞 底部 表面 | ||
【主权项】：
暂无信息
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