[发明专利]电磁复合透镜和具有这样的透镜的带电粒子光学系统在审
| 申请号： | 201980075411.8 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN113056806A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 任伟明;刘学东;胡学让;陈仲玮 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/145 | 分类号： | H01J37/145;H01J37/28;H01J37/143 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 电磁复合透镜可以被配置为聚焦带电粒子束。复合透镜可以包括设置在次级光轴上的静电透镜和也设置在次级光轴上的磁透镜。磁透镜可以包括永磁体。带电粒子光学系统可以包括束流分离器，该束流分离器被配置为将由源沿初级光轴生成的初级带电粒子束的多个束波与次级带电粒子的次级光束分开。该系统可以包括次级成像系统，该次级成像系统被配置为沿次级光轴将次级光束聚焦到检测器上。次级成像系统可以包括复合透镜。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁 复合 透镜 具有 这样 带电 粒子 光学系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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