[发明专利]使用静电过滤器控制离子束的设备以及方法在审
| 申请号： | 201980076472.6 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN113169010A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 亚历山大·利坎斯奇;法兰克·辛克莱;常胜武 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 美国加州圣塔克拉尔,鲍尔斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种设备。所述设备可包括：主腔室；入口隧道，所述入口隧道具有延伸至所述主腔室中的入口轴线；出口隧道，连接至所述主腔室且界定出口轴线，其中所述入口隧道及所述出口隧道在所述入口隧道与所述出口隧道之间界定小于25度的束弯曲；以及电极总成，设置于所述主腔室中，且在所述入口隧道与所述出口隧道之间界定束路径。所述电极总成可包括设置于所述束路径的第一侧上的上部电极及设置于所述束路径的第二侧上的多个下部电极，所述多个下部电极包括至少三个电极。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 静电 过滤器 控制 离子束 设备 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料股份有限公司，未经应用材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980076472.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
